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  • 半导体气体处理(半导体气体处理设备) 2023-12-15 点击:16 评论:0
  • 一、半导体气体是什么?答:半导体气体是指半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要...
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